电感耦合等离子体发射光谱仪又称为ICP光谱仪即以电感耦合高频等离子体为激发光源，利用每种元素的原子或离子发射特征光谱来判断物质的组成，而进行元素的定性与定量分析仪器。也被称为ICP原子发射光谱仪。原子发射光谱分析过程主要分三步，即激发、分光和。
第一步：激发光源使试样蒸发汽化，离解或分解为原子状态，原子也可能进一步电离成离子状态。原子及离子在光源中激发发光；
第二步：利用分光器把光源发射的光色散为按波长排列的光谱；
第三步：利用光电器件光谱，按所测得的光谱波长对试样进行定性分析，或按发射光强度进行定量分析。
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